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隨著半導(dǎo)體、電子行業(yè)的技術(shù)發(fā)展，對(duì)水處理設(shè)備的需求也越來(lái)越廣泛，國(guó)內(nèi)外超純水設(shè)備的技術(shù)也獲得了飛速的發(fā)展和廣泛的應(yīng)用，涌現(xiàn)出一大批超純水處理方面領(lǐng)域的公司企業(yè)，。目前國(guó)內(nèi)的超純水制備行業(yè)正處于快速的發(fā)展階段，但是相比國(guó)外的發(fā)展水平仍有很大的差距。隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)線的普及，超純水制備設(shè)備的需求越來(lái)越大，目前國(guó)內(nèi)的現(xiàn)代超純水水質(zhì)以電阻率、TOC（總有機(jī)碳）、細(xì)菌、微粒、DO（溶解氧）、可溶硅、離子和金屬雜質(zhì)等參數(shù)來(lái)表征，它們對(duì)器件影響大。因此，這就需要設(shè)計(jì)一臺(tái)能夠制備滿足指標(biāo)要求的浸沒液超純水處理系統(tǒng)，以保證光刻機(jī)的正常運(yùn)行。超純水處理系統(tǒng)是制備超純水的自動(dòng)控制系統(tǒng)，在光刻機(jī)中它作為浸沒控制系統(tǒng)中的子模塊，主要負(fù)責(zé)對(duì)超純水的制備，對(duì)超純水污染物質(zhì)進(jìn)行處理，并達(dá)到浸沒供給液各項(xiàng)指標(biāo)要求。

EDI超純水設(shè)備工作原理：

EDI工作原理如圖所示。EDI膜塊中將一定數(shù)量的EDI單元用格板隔開，形成濃水室和淡水室。又在單元兩端設(shè)置陰/陽(yáng)電極。在直流電的推動(dòng)下，通過(guò)淡水室水流中的陰陽(yáng)離子分別透過(guò)陰陽(yáng)離子交換膜遷移到濃水室而在淡水室中去除。如下圖：

電場(chǎng)使進(jìn)水中的水分子在離子交換樹脂界面離解成H+及OH-，并不斷地再生淡水室中陰、陽(yáng)離子交換樹脂。離子交換樹脂中的陰、陽(yáng)離子在再生過(guò)程中受到相應(yīng)正負(fù)電極的吸引，透過(guò)陽(yáng)、陰離子交換樹脂向所對(duì)應(yīng)的離子膜的方向遷移。當(dāng)這些離子透過(guò)交換膜進(jìn)入濃室后，H+及OH-重新結(jié)合成水。這種H+及OH-的產(chǎn)生、湮滅及陰、陽(yáng)離子遷移正是離子交換樹脂得以實(shí)現(xiàn)連續(xù)再生的機(jī)理。

EDI超純水設(shè)備組成部分：

1、淡水室將離子交換樹脂填充在陰、陽(yáng)離子交換膜之間形成淡水室

2、濃水室在相鄰淡水單元的陰陽(yáng)離子交換膜之間添加樹脂，形成濃水室；

3、極水室在電極板與相鄰離子交換膜中間添加樹脂，形成極水室。

一個(gè)膜塊中有正、負(fù)兩個(gè)極水室；

4、絕緣板和壓緊板

5、電源及水路連接

超純水處理設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域：

（1）工業(yè)制造業(yè)
需要超純水的工業(yè)行業(yè)主要包括電子、電力、石油化工等。在電子行業(yè)中，半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、微電子行業(yè)、大規(guī)模及超大規(guī)模集成電路需要用大量的超純水清洗成品和半成品。在電力生產(chǎn)中，發(fā)電系統(tǒng)的發(fā)電循環(huán)效率取決于系統(tǒng)中水蒸氣的溫度和壓力，且納、氯化物或二氧化硅等污染物易引起渦輪機(jī)葉片的腐蝕和污染。在石油化工行業(yè)中，高純水主要應(yīng)用于油田注入水、化工反應(yīng)冷卻水、化學(xué)藥劑、化肥及精細(xì)加工、化妝品制造、電鍍行業(yè)清洗水、電池行業(yè)溶劑用水。

（2）消費(fèi)品行業(yè)
超純水主要應(yīng)用在食品及制藥行業(yè)。隨著環(huán)境污染的加劇和人們對(duì)健康要求的不斷提高，食品、飲料行業(yè)用水的水質(zhì)要求也隨之提高，高純水在食品飲料行業(yè)得到越來(lái)越廣泛的應(yīng)用，如飲用純凈水、飲料、酒類等生產(chǎn)用水、飲料的無(wú)菌灌裝、原材料的運(yùn)輸與清洗、工作場(chǎng)所和設(shè)備的高壓清洗等。
醫(yī)藥在人們的生活中起著至關(guān)重要的作用，醫(yī)療用水水質(zhì)的好壞直接影響著治療水平，關(guān)系到病人的生命安全。早在1990年我國(guó)出版的《中華人民共和國(guó)藥典》二部便規(guī)定了醫(yī)用蒸餾水、注射用水和無(wú)菌注射用水等三種醫(yī)藥用水的要求，規(guī)定了十一項(xiàng)指標(biāo)：PH、氯化物、硝酸鹽和亞硝酸鹽、硫酸鹽、鈣鹽、氮、二氧化碳、易氧化物質(zhì)、不揮發(fā)物質(zhì)、重金屬及熱源。可見超純水在醫(yī)藥行業(yè)的重要性。

（3）實(shí)驗(yàn)室用水
在生命科學(xué)的基礎(chǔ)研究和醫(yī)藥工程以及醫(yī)院的臨床、制藥、生理、生化、化學(xué)、物理的各個(gè)領(lǐng)域都直接或間接需要使用超純水，細(xì)胞或組織培養(yǎng)、試管嬰兒、醫(yī)院化驗(yàn)分析、各種針劑和藥劑的配制稀釋用水。

藍(lán)膜專注于環(huán)保水處理產(chǎn)品與服務(wù)的創(chuàng)新與整合，經(jīng)營(yíng)產(chǎn)品包括水處理設(shè)備、過(guò)濾器、濾膜、水處理樹脂及行業(yè)解決方案等。具有完整的環(huán)保水處理系統(tǒng)集成和全面的技術(shù)服務(wù)綜合能力，并提供7*24小時(shí)的優(yōu)質(zhì)服務(wù)。

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